名称意向编号采购品目采购需求概况预算金额(万元)预计采购日期备注1大写场高精度电子束光刻机CGYX********电子工业专用生产设备大写场高精度电子束光刻机1台。主要功能：可实现光刻胶的高精度电子束曝光，采用肖特基场发射电子源，加速电压不低于50KV，设备最大写场不小于1000um，配备激光干涉台，XY轴的行程不小于150mm*150m.

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