一、技术参数及配置要求：1. 探针台体，1套6寸样品台，带真空吸附；样品台XY轴微调行程：150*150mm，精度3微米；样品台可XY浮动，浮动范围150*150mm；样品台可XY任意轴可快速抽拉，行程150mm，带锁死；样品台Z轴行程：10mm，精度5微米样品台可360°旋转带微调；探针座平台快速升降行程25mm，并带锁定；探针座平台微调升降行程8mm，精度5微米显微镜带龙门架，XY移动行程：50*50mm，精度3微米尺寸600*600*750mm2. 显微镜，###路接口，可垂直接激光，两侧带Cmount 和光源；配4孔鼻轮；配5X物镜，工作距离33mm；配20X物镜，工作距离22mm；配50X物镜，工作距离20mm；配800万像素CCD一套，可拍照/录像/测量，带21寸显示器。3. 探针座， 4套精度********微米，丝杆驱动；XYZ轴行程各15mm；配4套三轴夹具，漏电100fA;配ST-20系列探针4盒；4. 真空泵1套最大气量12L/min，吸力可调；5. 电动二维平台X/Y行程各 25*25mm，步进精度5微米；带控制软件和电脑；带定制MASK；带龙门结构适配显微镜，独立于探针台防震动，可粗微调；6. 单波长激光器 1套波长********±10nm/1550±********；输出功率：20mW，10%~100%功率范围可调;工作模式：连续光；可外部调制；通信功能和接口：上位机 V********，RS232 通 ；DB9 接口；7. 上门安装培训 1次；二、质疑与答复：供应商如对该项目采购需求和技术参数有质疑，须按《安徽大学非政府采购项目质疑和投诉管理暂行办法》有关规定和质疑函格式要求（请自行在安徽大学采购****网站查询****网上竞价截标前提交书面质疑函，书面质疑函扫描件发至邮箱：********@******** 。安徽大学国有资产与实验室管理处（采购管理中心）联系电话：********，联系人：袁老师。逾期不予受理。

本招标项目仅供 正式会员查阅，您的权限不能浏览详细信息,请点击注册/登录，或联系工作人员办理会员入网事宜，成为正式会员后方可获取详细的招标公告、报名表格、项目附件及部分项目招标文件等。
联系人：王越
电话：010-68819835
手机：13681224795 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：wangyue@zbytb.com